E08300 - SEMI E83 - Specification for PGV Mechanical Docking Flange Revision:SEMI E83-1106 - Superseded 本スタンダードは，Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits

本スタンダードは，Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww

Figures 1 and 2 show examples of types of AMHS equipment

in particular orientation

SEMI C27 — Specifications and Guidelines for Hydrochloric Acid

E08300 - SEMI E83 - Specification for PGV Mechanical Docking Flange Revision:SEMI E83-1106 - Superseded 本スタンダードは，Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global AuditsNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Specification is intended to promote consistent interface features between person guided vehicles (PGV) and equipment with a load port. This Specification defines a mechanical standard for the stationary (equipment)